アランジルAZ
Ø 特色
アランジル(AZ)は、高度な精度を要するラッピング材として開発された微粒研磨材です。
粒度分布がシャープで粒度が安定しており、形状はブロッキーです。ソフトな研磨により均一なる研磨面が得られます。
Ø 物性と化学成分
l 原材料:溶融アルミナとジルコンサンドの混合したもの
l 化学名:AI2O3+ZrO2
l 形状:茶褐色、ブロッキーな粒形
Ø 用途
l 半導体結晶(シリコン等)、化合物半導体等の精密ラッピング材料
l レンズ・プリズム・水晶・光学硝子等の精密ラッピング材料
l 金属類等のラッピング材料
l その他
Ø 品質規格
粒度 Particle |
比重 Specific gravity |
化学成分 Chemical composition (%) |
||||
Al2O3 |
ZrO2 |
SiO2 |
Fe2O3 |
TiO2 |
||
#400~#500 |
≥3.90 |
≥25.0 |
≤55.0 |
≤25.0 |
≤0.5 |
≤2.0 |
#600~#1000 |
≥3.85 |
≥45.0 |
≤33.0 |
≤20.0 |
≤0.5 |
≤2.0 |
#1200~#4000 |
≥3.85 |
≥45.0 |
≤40.0 |
≤20.0 |
≤0.5 |
≤2.0 |
粒度 Particle |
粒度分布 Particle size distribution (µm) |
|||
最大粒子径 |
D3 |
D50 |
D94 |
|
#400 |
≤63 |
≤50 |
23.0±2.1 |
≥14 |
#500 |
≤53 |
≤43 |
19.0±1.6 |
≥12 |
#600 |
≤45 |
≤37 |
16.0±1.3 |
≥10 |
#700 |
≤38 |
≤31 |
13.5±1.1 |
≥8 |
#800 |
≤32 |
≤27 |
11.3±0.9 |
≥6.5 |
#1000 |
≤27 |
≤23 |
9.4±0.8 |
≥5 |
#1200 |
≤23 |
≤20 |
7.1±0.7 |
≥4 |
#1500 |
≤19 |
≤17 |
5.5±0.5 |
≥3 |
#2000 |
≤15 |
≤14 |
4.5±0.4 |
≥2 |
#3000 |
≤12 |
≤11 |
3.6±0.4 |
≥1.5 |
#4000 |
≤10 |
≤8 |
2.7±0.4 |
≥1.3 |
*本製品仕様に付きましては予告無く変更される場合が御座いますので、必ず当社営業部までご確認下さい。